電子行業(yè)超純水設(shè)備是用于制備電阻率≥18.2 MΩ·cm（25℃）、雜質(zhì)含量極低（如TOC≤5 ppb、顆粒≤1個(gè)/ml）的高純度水的關(guān)鍵系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、液晶顯示、光伏電池等電子元器件的生產(chǎn)過程中。

  預(yù)處理：通過多介質(zhì)過濾器去除水中的懸浮固體、微粒等；利用活性炭過濾器吸附水中的有機(jī)物、余氯等；鈉離子軟化器降低水的硬度；精密過濾器進(jìn)一步截留細(xì)小顆粒，為后續(xù)處理提供合格的進(jìn)水。

  反滲透：在壓力作用下，使水通過半透膜，而溶解的鹽類、有機(jī)物和微生物等雜質(zhì)被截留，從而去除水中的大部分離子和有機(jī)物，降低水的含鹽量和雜質(zhì)含量。

  電去離子（EDI）：運(yùn)用電場的作用，使水中離子有序遷移并被去除，進(jìn)一步提高水的純度，連續(xù)穩(wěn)定地制備超純水，無需酸堿再生。

  終端處理：通常包括紫外線殺菌和臭氧處理等，用于殺滅水中的微生物，保證超純水的生物安全性，還可配備拋光混床等設(shè)備，對水質(zhì)進(jìn)行進(jìn)一步精制，以滿足電子行業(yè)對超純水的極高要求。

  自動(dòng)化程度高：配備液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表和 PLC 可編程控制器，實(shí)現(xiàn)無人值守操作，降低人工成本，提高設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性。

  水質(zhì)穩(wěn)定：采用多種先進(jìn)的水處理技術(shù)和工藝，能夠有效去除水中的各種雜質(zhì)和離子，使出水水質(zhì)穩(wěn)定達(dá)到電子行業(yè)所需的高純度標(biāo)準(zhǔn)。

  運(yùn)行成本低：一些設(shè)備采用了節(jié)能型的設(shè)計(jì)和技術(shù)，如超低壓滲透過濾技術(shù)、新型電除鹽技術(shù)等，可降低能耗，同時(shí)減少了酸堿等化學(xué)藥劑的使用，降低了運(yùn)行成本和對環(huán)境的污染。

  維護(hù)簡便：設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，零部件標(biāo)準(zhǔn)化程度高，日常保養(yǎng)、維修等操作簡單方便，且設(shè)備故障幾率較小，可減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。

  材質(zhì)優(yōu)質(zhì)：在工藝選材方面，通常采用高品質(zhì)的材料，如全不銹鋼管路、超純水專用管道等，避免設(shè)備材質(zhì)對水質(zhì)造成污染，保證出水水質(zhì)

電阻率：≥18.2 MΩ·cm（25℃）

TOC（總有機(jī)碳）：≤1-5 ppb

顆粒物：≤1個(gè)/ml（粒徑≥0.1μm）

微生物：≤0.1 CFU/ml

離子含量：Na?、Cl?等≤0.01 ppb

溶解氧：≤1 ppb